在半導(dǎo)體、制藥、高純化工氣體系統(tǒng)中，任何一絲微?；驓怏w泄漏都可能導(dǎo)致生產(chǎn)停滯或產(chǎn)品報(bào)廢。恒歌科技研發(fā)的 316L 金屬燒結(jié) VCR 過濾墊片，專為高純氣體輸送系統(tǒng)打造，兼容 1/4″、3/8″ 及 1/2″ VCR 卡套接口，具備耐高溫(-40 ～ 400 °C)、耐高壓、耐腐蝕特性，過濾效率 99.9999999%，為您的系統(tǒng)保駕護(hù)航。

一、為什么氣體系統(tǒng)中要用 VCR 過濾墊片?

在半導(dǎo)體、顯示面板、光伏等高純氣體系統(tǒng)中，即使前端已經(jīng)配置了氣體過濾器，

管路連接點(diǎn)本身，仍然是最容易產(chǎn)生顆粒和金屬污染的“盲區(qū)”。

●  接頭裝配摩擦

●  管路內(nèi)壁微顆粒脫落

●  閥門、MFC 切換瞬間沖刷

— VCR過濾墊片，正是安裝在“最后一道連接點(diǎn)”的微型過濾單元，在不改變?cè)薪Y(jié)構(gòu)的前提下，實(shí)現(xiàn)顆粒攔截與系統(tǒng)潔凈度提升。

二、VCR過濾墊片 ≠ 普通VCR密封墊片

很多客戶在選型時(shí)，容易把兩者混為一談：

—  VCR過濾墊片更適合安裝在：POU、MFC前端、關(guān)鍵工藝氣體入口

三、產(chǎn)品核心特點(diǎn)

? 高純不銹鋼材質(zhì)

●  采用 316L 不銹鋼

●  適用于多種電子特氣

●  抗腐蝕、低金屬析出風(fēng)險(xiǎn)

? 微孔過濾結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

●  內(nèi)部為均勻微孔結(jié)構(gòu)

●  可有效攔截微小顆粒污染物

●  在不顯著影響流量的前提下提升氣體潔凈度

? 標(biāo)準(zhǔn) VCR 尺寸，直接替換

●  兼容標(biāo)準(zhǔn) VCR 接頭

●  無需改造原有管路

●  安裝方式與普通 VCR 墊片一致

? 多規(guī)格可選

●  1/4" VCR 過濾墊片

●  3/8" VCR 過濾墊片

●  1/2" VCR 過濾墊片

滿足不同管徑氣體系統(tǒng)需求。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

VCR 過濾墊片廣泛應(yīng)用于：

●  半導(dǎo)體電子特氣輸送系統(tǒng)

●  工藝氣體點(diǎn)位(POU)

●  MFC、閥門前端保護(hù)

●  高純氣體面板系統(tǒng)

●  實(shí)驗(yàn)室及超潔凈氣體管路

尤其適用于對(duì)顆粒極為敏感的關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)。

五、常見問題

Q1：VCR過濾墊片會(huì)影響氣體流量嗎?

A：合理設(shè)計(jì)的微孔結(jié)構(gòu)在保證過濾能力的同時(shí)，對(duì)系統(tǒng)流量影響極小，適合安裝在終端或關(guān)鍵點(diǎn)位。

Q2：是否適用于腐蝕性或易燃?xì)怏w?

A：不銹鋼材質(zhì)具備良好的耐腐蝕性，適用于多種電子特氣，具體工況可咨詢確認(rèn)。

Q3：可以定制其他規(guī)格或參數(shù)嗎?

A：支持不同尺寸、結(jié)構(gòu)形式的定制需求，可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景評(píng)估。

六、一片墊片，往往決定系統(tǒng)“最后的潔凈度”

在超純氣體系統(tǒng)中，

真正影響良率的，往往不是“大設(shè)備”，

而是這些看似不起眼的連接細(xì)節(jié)。

VCR過濾墊片，正是為關(guān)鍵連接點(diǎn)提供的“最后一道安全屏障”。