在半導體制造、電子特氣及高純氣體輸送系統(tǒng)中，氣體純度的每一個微小波動，都可能直接影響良率與穩(wěn)定性。針對高純、高壓、嚴苛工況應用場景，我們推出—不銹鋼高純高壓卡套過濾器，專為半導體工藝氣體凈化而設計，兼顧超高過濾效率、安全可靠性與便捷安裝維護。

一、產(chǎn)品概述

本款不銹鋼高純高壓卡套過濾器采用T型卡套結(jié)構(gòu)設計，適用于UHP/HP級工藝氣體過濾，可有效去除氣體中的亞微米級顆粒污染物，廣泛應用于晶圓制造、芯片封裝、電子特氣輸送及高等級潔凈室系統(tǒng)，是半導體氣體管路中不可或缺的關鍵過濾組件。

二、核心優(yōu)勢

1?? 全316L不銹鋼一體結(jié)構(gòu)

選用高純316L不銹鋼材質(zhì)

耐腐蝕、低析出、低吸附

兼容多種電子特氣與工藝氣體

2?? 超高過濾精度，保障UHP氣體純度

過濾精度可達 0.003 μm

顆粒攔截效率 ≥99.9999999%

有效去除氣體中微粒、雜質(zhì)，降低晶圓缺陷風險

3?? 高通量 · 低壓損設計

優(yōu)化內(nèi)部流道結(jié)構(gòu)

在保證過濾效率的同時，顯著降低壓降

適合對流量穩(wěn)定性要求極高的半導體工藝

4?? 耐高溫 · 耐高壓，適應嚴苛工況

工作溫度范圍：-28℃ ～ 482℃

最大工作壓力：414 bar（6000 psig）

可長期穩(wěn)定運行于高壓、高溫、高潔凈要求環(huán)境

5?? 卡套式連接，安裝更安全

無需焊接，避免焊渣與二次污染風險

卡套對接+螺母緊固，密封可靠

適合潔凈室及在線改造安裝

6?? 全流程質(zhì)量檢測，使用更安心

100% 完整性測試

100% 氨氣檢漏測試

確保每一只過濾器在交付前均符合半導體級標準

三、典型應用場景

●  半導體制造工藝氣體系統(tǒng)：晶圓制造、擴散、沉積、刻蝕等關鍵工藝

●  電子特氣輸送管路：高純氮氣、氫氣、氬氣等

●  潔凈室氣體系統(tǒng)：制造、測試、封裝及包裝環(huán)節(jié)

●  科研實驗室 & 檢測機構(gòu)：對氣體純度要求極高的實驗與測試環(huán)境

四、安裝與維護說明

●  安裝方式

●  卡套式連接

●  無需焊接，降低安裝風險

●  適合在線快速部署

●  維護與更換

●  過濾元件可更換設計

●  無需整體拆卸管路

●  降低維護成本與停機時間

五、為什么選擇我們的不銹鋼高純高壓卡套過濾器?

? 深耕半導體氣體過濾領域多年

? 產(chǎn)品設計從“良率、安全、穩(wěn)定”出發(fā)

? 支持非標定制(接口、尺寸、過濾精度)

如果您正在尋找一款真正適用于半導體工藝氣體系統(tǒng)的高純高壓不銹鋼過濾器，歡迎與我們聯(lián)系，獲取選型建議與技術支持。

專業(yè)的氣體過濾，不只是參數(shù)，更是對工藝安全的長期保障。